Fraunhofer-Institut
für Photonische Mikrosysteme IPMS

Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden
Deutschland
Telefon+49 351 8823-0
Fax+49 351 8823-266

Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet von mikromechanischer Sensorik und Aktorik, drahtloser Mikrosysteme sowie Halbleitertechnologien

Angebotsspektrum

S.01.02.05 Druck, relativ – Messfehler < 0,1 %

S.01.02.06 Druck, relativ – Messfehler ≥ 0,1 %

S.01.07.05 Ultraschall

S.01.09.05 Ionenselektive Sensorik z. B. Na+, Cl-

S.01.09.09 pH-Wert

S.02.04 Piezoresistives Sensorelement

S.02.23 Fotozelle, Fotosensor

S.02.25 Optoelektronisches Sensorelement

S.02.32 Ultraschall-Messzelle

S.02.36 ISFET Sensorelement

S.03.27 Kommunikationsmodul, drahtlos

S.03.44.07 Elektrostatischer Aktor

S.03.44.14 Mikropumpe

M.09.06.01.01 Ultraschallverfahren

M.09.06.01.07 Automatische optische Inspektion (AOI)

D.01.02.04.02 Mechanische Messgröße

D.01.02.04.08 Optische Messgröße

D.01.02.08.08 Mikrostrukturierung auf bzw. von Silizium

D.01.02.08.09 Mikrosystemtechnik, MST

D.01.02.08.17 Mikrooptik, integrierte Optik

D.02.04 Halbleiter-Technologie

D.02.11 Mikrosystemtechnik MST

D.02.12 Mikrosensorik

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