Fraunhofer-Institut
f. Siliziumtechnologie ISiT

Fraunhoferstr. 1
25524 Itzehoe
Deutschland
Telefon+49 4821 17-4233
Fax+49 4821 17-4250

Entwurf, Entwicklung und Fertigung von Bauelementen der Mikroelektronik sowie von Mikrosensoren, -aktuatoren und weiteren Komponenten der Mikrosystemtechnik; Prototypenfertigung und kundenspezifische Serien (auch Zugriff auf kommerzielle Produktionsstätten wie z. B. bei MEMS Foundry Itzehoe, X-FAB möglich); Analyse zur Qualität und Zuverlässigkeit von elektronischen Baugruppen sowie Gehäuse- und Aufbautechnik für Mikrosysteme

Angebotsspektrum

D.02.03 Dünnschicht-Technologie

D.02.04 Halbleiter-Technologie

D.02.11 Mikrosystemtechnik MST

D.02.12 Mikrosensorik

D.02.13 Mikroaktorik

D.02.14 Mikrofluidik, Mikropneumatik

D.02.15 Mikromechanik, Mikrostrukturierung

D.02.16 Integrierte Optik, Mikrooptik

D.02.17 Mikroelektronik

D.02.19 Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT), Packaging

D.02.28 Ätztechnologien

D.02.29 Galvanik, Auftragsfertigung

D.02.41 Sensorik, spezifisch

D.02.43 Prototypfertigung

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