Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
IMOS - Lehrstuhl Mikrosystemtechnik

Postfach 41 20
39016 Magdeburg
Deutschland
Telefon+49 391 67-18399
Fax+49 391 67-12609

- Messtechnik/Sensorik: Ultraschallsensorik, resonante Sensoren, Impedanzspektroskopie, Sensorelektronik - Mikrosystemtechnik: Entwurf u. Simulation, Mikromechanik u. Packaging f. Mikrosysteme - Halbleitertechnologie: Prozessentwicklung, Sensorentwurf, Waferreinigung, Si-Nanotechnologie

Angebotsspektrum

D.02.02 Dickschicht-Technologie

D.02.03 Dünnschicht-Technologie

D.02.04 Halbleiter-Technologie

D.02.07 Keramik-Technologie

D.02.08 Kunststoff-Technologie

D.02.11 Mikrosystemtechnik MST

D.02.12 Mikrosensorik

D.02.13 Mikroaktorik

D.02.14 Mikrofluidik, Mikropneumatik

D.02.15 Mikromechanik, Mikrostrukturierung

D.02.17 Mikroelektronik

D.02.19 Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT), Packaging

D.02.28 Ätztechnologien

D.02.29 Galvanik, Auftragsfertigung

D.02.30 Bonden

D.02.33 Mikrokleben

D.02.35 Verguss-, Mikroverguss-Technologien

D.04.06 Lehre, Aus- und Weiterbildung

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