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Universität Bremen - IMSAS
Inst. f. Mikrosensoren, -aktuatoren u. -systeme

Postfach 33 04 40
28334 Bremen
Deutschland
Telefon+49 421 218 62601
Fax+49 421 218 9862601

Das Institut für Mikrosensoren, -aktoren u. -systeme (IMSAS) beschäftigt sich mit der anwendungsorientierten Forschung u. Entwicklung v. Mikrosystemen u. deren Einzelkomponenten. Für die Prozessierung u. Mikrostrukturierung v. unterschiedlichsten Materialien stehen zwei Reinräume mit modernster Ausstattung zur Verfügung. Das IMSAS ist nach DIN EN ISO 9001:2000 zertifiziert.

Angebotsspektrum

D.01.02.08.09 Mikrosystemtechnik, MST

D.01.02.08.02 Dünnschichttechnologie

D.01.04.07 Systementwicklung drahtlose Sensornetzwerke

D.01.02.08.08 Mikrostrukturierung auf bzw. von Silizium

D.01.02.08.11 Lithographieentwicklung (Elektronen-, UV-, Röntgen-Lithographie)

D.01.02.05.03 Fluidische Anwendung

D.01.02.04.03 Dynamische Messgröße

D.01.04.01 Aufbau- und Verbindungstechnik

D.01.03.02 Komponentensimulation, insbesondere mit FEM

D.01.02.08.10 Mikrostrukturierung auf bzw. von anderen Materialien (Glas, Keramik, Metalle, Polymere)

D.01.02.04.04 Thermische Messgröße

D.04.06 Lehre, Aus- und Weiterbildung

D.01.02.08.21 Mikrofluidik

D.01.02.04.02 Mechanische Messgröße

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