Mitglieder- und Anbietersuche

Fraunhofer-Institut
f. Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

Winterbergstr. 28
01277 Dresden
Deutschland
Telefon+49 351 2586-0
Fax+49 351 2586-105

FEP entwickelt spezielle Sputter- und PECVD-Verfahren zur Herstellung sensorischer und aktorischer Schichten auf industriell üblichen Fertigungsanlagen (Cluster-Anlagen und Inline-Anlagen für Substrate bis 1000mm Kantenlänge). Es gibt umfangreiche Erfahrungen in der Abscheidung von optischen, Isolations- und Passivierungsschichten, Permeationsbarrieren, sowie photo-halbleitenden, piezoelektrischen und magnetischen Funktionsschichten.

Angebotsspektrum

D.01.02.04.08 Optische Messgröße

D.01.02.06.01 Keramische Materialien

D.01.02.06.02 Kunststoffe, Polymere

D.01.02.06.11 Magnetisches Material

D.01.02.08.02 Dünnschichttechnologie

D.01.02.08.13 Plasma-/Oberflächentechnik

D.01.03.01 Prozess- und Technologiesimulation

D.01.03.07 Optik-Simulation, Raytracing

D.02.03 Dünnschicht-Technologie

D.02.04 Halbleiter-Technologie

D.02.20 Nanotechnologie

D.02.27 Ätztechnologien

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