Kurzprofil
AKTIV SENSOR GmbH
Drucksensoren / Halbleiterprozesse
Ruhlsdorfer Straße 95, Geb. 4
14532 Stahnsdorf
Tel.: 03329-6068-0
Fax: 03329-6068-15
E-Mail: aktiv-sensor.ST@epcos.ca
Web: www.epcos.com
Ruhlsdorfer Straße 95, Geb. 4
14532 Stahnsdorf
Tel.: 03329-6068-0
Fax: 03329-6068-15
E-Mail: aktiv-sensor.ST@epcos.ca
Web: www.epcos.com
Herstellung piezoresistiver Drucksensoren von 16 mbar bis 100 bar auf Halbleiterbasis im eigenen Reinraum. Absolut-, Relativ- und Differenzdruck. Drucksensorelemente (Chips), Druckaufnehmer, Druckmessumformer und kundenspezifische Lösungen. Verschiedene Gehäuse und Ausgangssignale. Halbleiter-Chip-Fertigung, Mikrosystemtechnik.
Angebotsspektrum
| 1.1.1044 | Füllstand, Niveau, Pegel – Messfehler < 0,5 % * ) |
| 1.1.1045 | Füllstand, Niveau, Pegel – Messfehler > 0,5 % *) |
| 1.1.2104 | Druck [rel.] – Messfehler < 0,5 % *) |
| 1.1.2105 | Druck [rel.] – Messfehler > 0,5 % *) |
| 1.1.2110 | Absolutdruck |
| 1.1.2120 | Tiefstdruck < 20 mbar |
| 1.1.2164 | Differenzdruck – Messfehler < 0,5 % *) |
| 1.1.2165 | Differenzdruck – Messfehler > 0,5 % *) |
| 1.1.5300 | Barometrischer Druck, Luftdruck |
| 1.2.0020 | Piezoresistive Sensorelemente |
| 3.1 | Sensorik, spezifisch |
| 3.3.04 | Halbleitertechnologie |
| 3.3.11 | Mikrosystemtechnik |
| 3.3.12 | Mikrosensorik |
| 3.3.15 | Mikromechanik, Mikrostrukturierung |
| 3.3.61 | Ätztechnologien |

