Kurzprofil
Technische Universität Hamburg-Harburg
Institut für Mikrosystemtechnik
Eißendorfer Straße 42
21073 Hamburg
Tel.: 040-42878-4398
Fax: 040-42878-2396
E-Mail: trieu@tuhh.de
Web: www.tu-harburg.de/mst/
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Web: www.tu-harburg.de/mst/
Das Institut für Mikrosystemtechnik der TU Hamburg-Harburg forscht und entwickelt mit einem ganzheitlichen Ansatz aus Modellierung, Prozesstechnologie und Integrationstechnik an Systemlösungen für die Medizintechnik, Mikrosensorik und Lebenswissenschaften. Neben Mikro-Implantaten werden u.a. für die Mikroanalytik hochsensitive Mikromassenspektrometer, mikrooptische Interferometer sowie mikrofluidische Systeme für die Biosystemtechnik realisiert. Neuartige Sensormaterialien, flexible Herstellungstechnologien und innovative Energyharvesting-Verfahren sowie Transpondertechnik kennzeichnen unsere Arbeit.
Angebotsspektrum
| 2.1.102 | Mechanische Messgrößen |
| 2.1.104 | Thermische Messgrößen |
| 2.1.106 | Klimatische Messgrößen |
| 2.1.107 | Meteorologische Messgrößen |
| 2.1.111 | Chemische Messgrößen |
| 2.1.112 | Biologische Messgrößen |
| 2.1.113 | Medizinische Messgrößen |
| 2.1.203 | Fluidische Anwendungen |
| 2.2.02 | Dünnschichttechnologie |
| 2.2.07 | Mikrostrukturierung auf bzw. von Silizium |
| 2.2.08 | Mikrostrukturierung auf bzw. von anderen Materialien [Glas, Keramik, Metalle, Polymere] |
| 2.2.13 | Mikrooptik, integrierte Optik |
| 2.2.14 | Aufbau- u. Verbindungstechnik, Packaging |
| 2.3.02 | Komponentensimulation, insbes. FEM |
| 2.3.05 | Systemsimulation |
| 2.4.01 | Aufbau- und Verbindungstechnik |
| 2.4.02 | Packaging |
| 2.4.03 | Medienanbindung |
| 2.4.05 | Kommunikationsschnittstellen |
| 2.4.06 | Signalverarbeitung und Algorithmen |
| 3.3.03 | Dünnfilmtechnologie |
| 3.3.04 | Halbleitertechnologie |
| 3.3.11 | Mikrosystemtechnik |
| 3.3.12 | Mikrosensorik |
| 3.3.13 | Mikroaktorik |
| 3.3.14 | Mikrofluidik, Mikropneumatik |
| 3.3.15 | Mikromechanik, Mikrostrukturierung |
| 3.3.16 | Integrierte Optik, Mikrooptik |
| 4.22 | Technologieberatung |
| 4.30 | Lehre, Aus- und Weiterbildung |

