Kurzprofil
Technische Universität Dresden
IHM – Inst. f. Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Nöthnitzer Straße 64
01062 Dresden
Tel.: 0351-463-6336
Fax: 0351-463-7021
E-Mail: fischer@ihm.et.tu-dresden.de
Web: www.tu-dresden.de/etihm/homeihm.htm
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Web: www.tu-dresden.de/etihm/homeihm.htm
Mikrosystementwurf (ASIC-Design, Signalverarbeitung, Feldbusanschluss). Diagnoselabor (Elektronenmikroskop, Oberflächenanalyse, Metallografie, Zuverlässigkeitsuntersuchungen). Aufbau- und Verbindungstechniken der Mikroelektronik u. Mikrosystemtechnik. Plasmagestützte Verfahren, Si-Tiefenätzen, Waferprozessing, Bumping, chemisch/mechanisches Polieren, Electroplating.
Angebotsspektrum
| 4.30 | Lehre, Aus- und Weiterbildung |

