Kurzprofil

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

IMOS – Lehrst. Mikrosystemtechnik
Postfach 41 20
39016 Magdeburg

Tel.: 0391-67-18399
Fax: 0391-67-12609

E-Mail: bertram.schmidt@ovgu.de
Web: www.uni-magdeburg.de/imos

Messtechnik/Sensorik: Ultraschallsensorik, resonante Sensoren, Impedanzspektroskopie, Sensorelektronik
Mikrosystemtechnik: Entwurf u. Simulation, Mikromechanik u. Packaging f. Mikrosysteme
Halbleitertechnologie: Prozessentwicklung, Sensorentwurf, Waferreinigung, Si-Nanotechnologie

3.3.02	Dickschichttechnologie
3.3.03	Dünnfilmtechnologie
3.3.04	Halbleitertechnologie
3.3.07	Keramiktechnologie
3.3.08	Kunststofftechnologie
3.3.11	Mikrosystemtechnik
3.3.12	Mikrosensorik
3.3.13	Mikroaktorik
3.3.14	Mikrofluidik, Mikropneumatik
3.3.15	Mikromechanik, Mikrostrukturierung
3.3.17	Mikroelektronik
3.3.19	Aufbau- und Verbindungstechnik
3.3.61	Ätztechnologien
3.3.62	Galvanik
3.3.63	Bonden
3.3.66	Mikrokleben
3.3.68	Verguss-, Mikroverguss-Technologien
4.30	Lehre, Aus- und Weiterbildung

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