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Kurzprofil
University of Utah
Microsystems Laboratory
MEB 3280, 50 S Central Campus
USA - Salt Lake City, UT
Vereinigte Staaten von Amerika
Tel.: +1-801-581-7408
Fax: +1-801-581-5281
E-Mail: solzbach@ece.utah.edu
Web: www.microsystems.utah.edu
MEB 3280, 50 S Central Campus
USA - Salt Lake City, UT
Vereinigte Staaten von Amerika
Tel.: +1-801-581-7408
Fax: +1-801-581-5281
E-Mail: solzbach@ece.utah.edu
Web: www.microsystems.utah.edu
Das Microsystems Laboratory ist eingegliedert in die Utah Microfabrication Facility, ein ca. 400 m² großes auf Halbleiter- und Polymertechnologien ausgelegtes Reinraumlabor. Das Microsystems Laboratory beschäftigt sich mit neuartigen Werkstoffen (SOI, SiC, GaN, Metallisierungssyteme) und der Entwicklung, Fertigung und Charakterisierung von Mikrosystemen für aggressive Umgebungsbedingungen (hohe Temperaturen, aggressive gasförmige und flüssige Medien). Entwicklungen werden hauptsächlich im Auftrag von Regierungsinstitutionen und industriellen Partner durchgeführt.
Angebotsspektrum
| 1.4.0001 | Spezialwerkstoffe für Sensoren |
| 3.3.03 | Dünnfilmtechnologie |
| 3.3.04 | Halbleitertechnologie |
| 3.3.11 | Mikrosystemtechnik |
| 3.3.12 | Mikrosensorik |
| 3.3.13 | Mikroaktorik |
| 3.3.14 | Mikrofluidik, Mikropneumatik |
| 3.3.15 | Mikromechanik, Mikrostrukturierung |
| 3.3.60 | Laserbearbeitung |
| 3.3.61 | Ätztechnologien |
| 3.3.63 | Bonden |
| 4.04 | Auftragsmessungen |
| 4.22 | Technologieberatung |
| 4.30 | Lehre, Aus- und Weiterbildung |
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