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Kurzprofil
Technische Universität München
TEP – LS f. Technische Elektrophysik
Arcisstr. 21
80290 München
Tel.: 089-289-23122
Fax: 089-289-23164
E-Mail: office@tep.ei.tum.de
Web: www.tep.ei.tum.de
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Schwerpunkte unserer Forschungs- und Entwicklungsarbeiten sind die physikalische Modellierung, numerische Simulation, Charakterisierung und Designoptimierung von Mikrobauelementen der Sensorik, Aktorik und Elektronik sowie hieraus aufgebauter Mikrosysteme. Weitere Gebiete sind die Plasmadiagnostik und Anwendung plasmatechnologischer Prozesse für Beschichtung, Ätzen und Sterilisation.
Angebotsspektrum
| 4.30 | Lehre, Aus- und Weiterbildung |
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