Kurzprofil
Fraunhofer-Institut
f. Siliziumtechnologie ISiT
Fraunhoferstr. 1
25524 Itzehoe
Tel.: 04821-17-4233
Fax: 04821-17-4250
E-Mail: klaus.reimer@isit.fraunhofer.de
Web: www.isit.fraunhofer.de
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Entwurf, Entwicklung und Fertigung von Bauelementen der Mikroelektronik sowie von
Mikrosensoren, -aktuatoren und weiteren Komponenten der Mikrosystemtechnik;
Prototypenfertigung und kundenspezifische Serien (auch Zugriff auf kommerzielle
Produktionsstätten wie z. B. bei MEMS Foundry Itzehoe, X-FAB möglich); Analyse zur Qualität und
Zuverlässigkeit von elektronischen Baugruppen sowie Gehäuse- und Aufbautechnik für
Mikrosysteme
Angebotsspektrum
| 3.1 | Sensorik, spezifisch |
| 3.2 | Aktorik |
| 3.3.03 | Dünnfilmtechnologie |
| 3.3.04 | Halbleitertechnologie |
| 3.3.11 | Mikrosystemtechnik |
| 3.3.12 | Mikrosensorik |
| 3.3.13 | Mikroaktorik |
| 3.3.14 | Mikrofluidik, Mikropneumatik |
| 3.3.15 | Mikromechanik, Mikrostrukturierung |
| 3.3.16 | Integrierte Optik, Mikrooptik |
| 3.3.17 | Mikroelektronik |
| 3.3.19 | Aufbau- und Verbindungstechnik |
| 3.3.33 | CAD, CAE |
| 3.3.61 | Ätztechnologien |
| 3.3.62 | Galvanik |

