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Kurzprofil
Fraunhofer Institut
f. Elektronenstrahl- und Plasmatechnik – FEP
Winterbergstr. 28
01277 Dresden
Tel.: 0351-2586-105
Fax: 0351-258555-105
E-Mail: info@fep.fraunhofer.de
Web: www.fraunhofer.de
Winterbergstr. 28
01277 Dresden
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Fax: 0351-258555-105
E-Mail: info@fep.fraunhofer.de
Web: www.fraunhofer.de
FEP entwickelt spezielle Sputterverfahren zur Herstellung sensorischer und aktorischer Schichten auf industriell üblichen Fertigungsanlagen (Cluster-Anlagen und Inline-Anlagen für Substrate bis 1000 mm Kantenlänge). Es gibt umfangreiche Erfahrungen in der Abscheidung von optischen, Isolations- und Passivierungsschichten, Permeationsbarrieren, sowie piezoelektrischen und magnetischen Funktionsschichten.
Angebotsspektrum
| 2.1.108 | Optische Messgrößen |
| 2.2.02 | Dünnschichttechnologie |
| 3.3.03 | Dünnfilmtechnologie |
| 3.3.04 | Halbleitertechnologie |
| 3.3.20 | Nanotechnologie |
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