S.01.01.11 Topographie
S.01.01.12 Rauhtiefe, Rauheit
S.01.02.05 Druck, relativ – Messfehler < 0,1 %
S.01.02.06 Druck, relativ – Messfehler ≥ 0,1 %
S.01.02.07 Feinvakuum < 1 mbar
S.01.02.10 Druck, Differenz – Messfehler ≥ 0,1 %
S.01.03.02 Wellenlänge, Frequenz
S.01.03.03 Schwingung, Schwingweg, Schwinggeschwindigkeit
S.01.04.02 Temperatur, berührungslos
S.01.05.14 Solarstrahlung (UV, FIR, VIS)
S.01.06.02 Photonen-Zähler
S.01.06.03 Lichtleiter Sensoren
S.01.06.06 Optische Dämpfung
S.01.06.07 Streulicht-Absorbtion
S.01.06.09 Reflexion, Remission, Glanz
S.01.06.14 Spektralverteilung
S.01.06.15 Infrarot, IR Messung
S.01.06.16 UV-Messung
S.01.06.17 Bildsensor
S.01.06.19 Röntgenabsorption
S.01.08.01 Elektrische Spannung
S.01.08.02 Elektrischer Strom, berührend
S.01.08.07 Elektrische Leitfähigkeit
S.01.08.08 Elektrischer Widerstand
S.01.08.13 Elektrische Leistung
S.01.10.18 Chlorkohlenwasserstoffe, CKW
S.01.10.19 Fluor-Chlor-Kohlenwasserstoffe, FCKW
S.01.10.20 Zyklische Kohlenwasserstoffe
S.01.10.27 Multi-Gassensor (Elektronische Nase)
S.02.23 Fotozelle, Fotosensor
S.02.24 Faseroptischer Sensor
S.02.25 Optoelektronisches Sensorelement
S.02.26 Optisches Interferometer- oder Interferenz-Sensorelement
S.03.01 Spezialwerkstoff für Sensoren
S.03.02 Halbzeug für Sensoren
S.03.03 Wafer-Rohling
S.03.05 Keramische Komponente
S.03.06 Piezokeramik
S.03.09 Schutzlack
S.03.17 Komponente zur Strahlenoptik
S.03.18 Linsen-Optik, diffraktive Optik, Fresnel Optik, Folienoptik
S.03.19 Optischer Spiegel, Reflektor
S.03.23 Sensor Schnittstellen IC
S.04.05 Bedampfungsanlage
S.04.06 Beschichtungsanlage
S.04.15 Reinraumausstattung
M.03.01 Multimeter
M.03.02 Oszilloskop
M.03.03 Signalgenerator
M.03.04 Transientenrekorder
M.04.06 Optische Messgröße
M.04.08 Elektrische Messgröße
M.04.11 Bildverarbeitungs-Messgröße
M.07.06 Optische Messdatenübertragung (Lichtwellenleiter/faseroptisch)
M.08.06 Mustererkennung, Mustervergleich
M.08.18 DNA Micro-Array
M.09.04.04 Chemische Industrie
M.09.04.05 Medizin
M.09.04.06 Umweltüberwachung
M.09.04.07 Energietechnik
M.09.06.01.04 Rasterkraftmikroskopie
M.09.06.01.06 Elektromagnetische Verfahren, Wirbelstromverfahren
M.09.06.03.06 Finite Differenzen Methode im Zeitbereich, FDTD
M.09.06.06.04 Raman Spektrometer
D.01.02.01 Messtechnische Methoden und Verfahren
D.01.02.04.04 Thermische Messgröße
D.01.02.04.06 Klimatische Messgröße
D.01.02.04.08 Optische Messgröße
D.01.02.04.11 Elektrische oder magnetische Messgröße
D.01.02.04.12 Chemische Messgröße
D.01.02.04.13 Biologische Messgröße
D.01.02.04.14 Medizinische Messgröße
D.01.02.06.01 Keramische Materialien
D.01.02.06.02 Kunststoffe, Polymere
D.01.02.06.04 Halbzeug für Sensoren
D.01.02.06.08 Optische Linse
D.01.02.06.10 3D-MID
D.01.02.08.01 Dickschichttechnologie
D.01.02.08.02 Dünnschichttechnologie
D.01.02.08.06 Rolle zu Rolle (R2R) Strukturierung
D.01.02.08.07 CMOS-Technologien oder Technologieschritte
D.01.02.08.08 Mikrostrukturierung auf bzw. von Silizium
D.01.02.08.09 Mikrosystemtechnik, MST
D.01.02.08.10 Mikrostrukturierung auf bzw. von anderen Materialien (Glas, Keramik, Metalle, Polymere)
D.01.02.08.11 Lithographieentwicklung (Elektronen-, UV-, Röntgen-Lithographie)
D.01.02.08.13 Plasma-/Oberflächentechnik
D.01.02.08.15 Abformtechnik (Spritzguss, Heißprägen)
D.01.02.08.16 Faseroptik
D.01.02.08.17 Mikrooptik, integrierte Optik
D.01.02.08.21 Mikrofluidik
D.01.02.08.24 Plasmonik
D.01.03.07 Optik-Simulation, Raytracing
D.01.03.09 Simulation magnetischer Felder
D.01.03.13 Elektromagnetische Feldverstärkung
D.01.04.04 Handhabungssysteme (Mikro-)
D.02.03 Dünnschicht-Technologie
D.02.04 Halbleiter-Technologie
D.02.06 CMOS-Technologie
D.02.07 Keramik-Technologie
D.02.08 Kunststoff-Technologie
D.02.09 Faseroptik
D.02.11 Mikrosystemtechnik MST
D.02.12 Mikrosensorik
D.02.13 Mikroaktorik
D.02.14 Mikrofluidik, Mikropneumatik
D.02.15 Mikromechanik, Mikrostrukturierung
D.02.16 Integrierte Optik, Mikrooptik
D.02.17 Mikroelektronik
D.02.18 Hybridtechnologie
D.02.20 Nanotechnologie
D.02.28 Ätztechnologien
D.02.41 Sensorik, spezifisch
D.04.01 Auftragsmessung
D.04.07 Training-on-the-project
D.04.10 Beratung zur Mikrosystemtechnik, MST
D.04.12 Projektplanung, Projektierung
D.04.15 Technologieberatung
D.04.16 Fördermittelberatung
