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Fraunhofer-Institut
f. Mikrotechnik und Mikrosysteme IMM

Carl-Zeiss-Straße 18-20
55129 Mainz
Deutschland
Telefon+49 6131 990-318
Fax+49 6131 990-205

Die Gruppe Mikrosensorik am Fraunhofer-Institut für Mikrotechnik und Mikrosysteme IMM entwickelt kundenspezifische Sensoriklösungen. Umfangreiche Kompetenzen in Komponentenauslegung und Systemintegration und ein weites Spektrum an Fertigungsverfahren wie mechanische Präzisionsbearbeitung, Laserbearbeitung, Silizium- und Dünnschichttechnik sind Alleinstellungsmerkmal. Anwendungen reichen von industrieller Analytik über Raumfahrt bis hin zu medizinischer Diagnostik.

Angebotsspektrum

D.01.02.04.02 Mechanische Messgröße

D.01.02.04.04 Thermische Messgröße

D.01.02.04.05 Kalorische Messgröße

D.01.02.04.08 Optische Messgröße

D.01.02.04.12 Chemische Messgröße

D.01.02.04.13 Biologische Messgröße

D.01.02.04.14 Medizinische Messgröße

D.01.02.08.02 Dünnschichttechnologie

D.01.02.08.03 Feinwerktechnik

D.01.02.08.08 Mikrostrukturierung auf bzw. von Silizium

D.01.02.08.09 Mikrosystemtechnik, MST

D.01.02.08.10 Mikrostrukturierung auf bzw. von anderen Materialien (Glas, Keramik, Metalle, Polymere)

D.01.02.08.11 Lithographieentwicklung (Elektronen-, UV-, Röntgen-Lithographie)

D.01.02.08.12 Galvanik, Entwicklung

D.01.02.08.13 Plasma-/Oberflächentechnik

D.01.02.08.15 Abformtechnik (Spritzguss, Heißprägen)

D.01.02.08.17 Mikrooptik, integrierte Optik

D.01.02.08.19 Aufbau- u. Verbindungstechnik, Packaging

D.01.02.08.21 Mikrofluidik

D.01.03.02 Komponentensimulation, insbesondere mit FEM

D.01.03.07 Optik-Simulation, Raytracing

D.01.04.01 Aufbau- und Verbindungstechnik

D.01.04.02 Packaging

D.01.04.10 Medizintechnische AVT

D.04.10 Beratung zur Mikrosystemtechnik, MST

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