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Technische Universität Ilmenau
IPMS - Inst. f. Prozessmess- und Sensortechnik

98684 Ilmenau
Deutschland
Fax+49 3677 69-1412
Laserpräzisionsmesstechnik, Nanopositionier- und Nanomesstechnik, Lichtwellenleiter gekoppelte Miniaturinterferometer, Autofokussysteme: Dynamische Kraftmeß- und Wägetechnik, Testanlagen, Prototypkomparatoren, FEM: Messdynamik- und Signalverarbeitung, AD-Wandlung, Interpolation, Signalfilterung, Soft-und Hardwarentwicklung: Temperaturmesstechnik, dynamische Testanlagen, selbstkalibrierende Sensoren, Kalibriertechnik, FEM für Temperaturfelder