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Technische Universität Dresden
IFE - Inst. f. Festkörperelektronik
01062 Dresden
Germany
fax+49 351 463-32320
Entwicklung kundenspezifischer pyroelektrischer Ein- u. Mehrelementsensoren f. d. infraroten Spektralbereich (ungekühlt); Entwicklung kundenspezifischer piezoresistiver Sensoren z. Messung v. Druck , Feuchte u. Gaskonzentration sowie pH-Wert und Konzentration in wässrigen Lösungen; lonenstrahltechniken z. Halbleiter- u. Dünnschichtstrukturierung; Modellentwicklung u. Simulation v. Sensoren, Aktoren u. Mikrosystemen.