S.01.01.11 Topography
S.01.01.12 Roughness, coarseness
S.01.02.05 Pressure (gauge) – measuring error < 0.1 %
S.01.02.06 Pressure (gauge) – measuring error ≥ 0.1 %
S.01.02.07 Fine vacuum < 1 mbar
S.01.02.10 Differential pressure – measuring error > 0.1 %
S.01.03.02 Wavelength, frequency
S.01.03.03 Oscillation, amplitude, vibration speed
S.01.04.02 Temperature, contactless
S.01.05.14 Solar radiation (UV, FIR, VIS)
S.01.06.02 Photon counters
S.01.06.03 Fiber-optic sensor
S.01.06.06 Optical attenuation
S.01.06.07 Scattered light absobtion
S.01.06.09 Reflection, diffuse reflection, brightness
S.01.06.14 Spectral distribution
S.01.06.15 Infrared, IR measurement
S.01.06.16 UV measurement
S.01.06.17 Image sensor
S.01.06.19 X-ray absorption
S.01.08.01 Electrical voltage
S.01.08.02 Electrical current, with contact
S.01.08.07 Electrical conductivity
S.01.08.08 Electrical resistance
S.01.08.13 Electrical power
S.01.10.18 Chlorinated hydrocarbons, CHC
S.01.10.19 Chlorofluorocarbon, CFC
S.01.10.20 Cyclic hydrocarbons
S.01.10.27 Multi gas analyzer (electronic nose)
S.02.23 Photo cell, photo sensor
S.02.24 Fibre-optic sensor
S.02.25 Optoelectronic element
S.02.26 Optical interferometer or interference sensing element
S.03.01 Special material
S.03.02 Semi-finished part for sensors
S.03.03 Wafer, polished
S.03.05 Ceramic component
S.03.06 Piezo ceramic
S.03.09 Protective coating
S.03.17 Optical component
S.03.18 Lens optics, diffractive optics, Fresnel optics, foil optics
S.03.19 Optical mirror, reflector
S.03.23 Sensor interface IC
S.04.05 Coating systems, e.g. thermal coater
S.04.06 Coating system
S.04.15 Clean-room equipment
M.03.01 Multimeter
M.03.02 Oscilloscope
M.03.03 Signal generator
M.03.04 Transient recorder
M.04.06 Optical parameter
M.04.08 Electrical parameter
M.04.11 Image processing parameter
M.07.06 Optical signal transmission (fiber optic)
M.08.06 Pattern recognition, pattern comparison
M.08.18 DNA microarray
M.09.04.04 Chemical industry
M.09.04.05 Medicine
M.09.04.06 Environmental monitoring
M.09.04.07 Energy technology
M.09.06.01.04 SFM (scanning force microscopy)
M.09.06.01.06 Electromagnetic process, eddy current process
M.09.06.03.06 Finite Difference Time Domain, FDTD
M.09.06.06.04 Raman spectrometer
D.01.02.01 Measurement techniques and processes
D.01.02.04.04 Thermal parameter
D.01.02.04.06 Atmospheric parameter
D.01.02.04.08 Optical parameter
D.01.02.04.11 Electrical or magnetic parameter
D.01.02.04.12 Chemical parameter
D.01.02.04.13 Biological parameter
D.01.02.04.14 Medical parameter
D.01.02.06.01 Ceramic material
D.01.02.06.02 Plastic and polymers
D.01.02.06.04 Semi-finished part for sensors
D.01.02.06.08 Optical lens
D.01.02.06.10 3D-MID
D.01.02.08.01 Thick film technology
D.01.02.08.02 Thin film technology
D.01.02.08.06 Roll-to-roll (R2R) structuring
D.01.02.08.07 CMOS-technology or technology steps
D.01.02.08.08 Microstructuring of silicon
D.01.02.08.09 Micro Systems Technologies MST, Micro-Electro-Mechanical-Systems MEMS
D.01.02.08.10 Microstructuring of other material (glas, ceramic, metal, polymer)
D.01.02.08.11 Lithography (E-beam-, UV-, X-ray lithography)
D.01.02.08.13 Plasma-/surface technology
D.01.02.08.15 Replication technology (Injection molding, hot embossing)
D.01.02.08.16 Fiber optics
D.01.02.08.17 Microoptics, integrated optics
D.01.02.08.21 Micro fluidic device
D.01.02.08.24 Plasmonics
D.01.03.07 Optics simulation, raytracing
D.01.03.09 Magnetic field simulation
D.01.03.13 Electromagnetic field enhancement
D.01.04.04 (Micro-) handling system
D.02.03 Thin film technology
D.02.04 Semiconductor technology
D.02.06 CMOS technology
D.02.07 Ceramic technology
D.02.08 Plastics technology
D.02.09 Fiber optics
D.02.11 Microsystems technology MST / Micro-Electro-Mechanical-Systems MEMS
D.02.12 Microsensor technology
D.02.13 Microactuator technology
D.02.14 Microfluidics, micropneumatics
D.02.15 Micromechanics, microstructuring
D.02.16 Integrated optics, microoptics
D.02.17 Microelectronics
D.02.18 Hybrid technology
D.02.20 Nano technology
D.02.28 Etching technology
D.02.41 Other services concerning sensor systems and actuators
D.04.01 Measuring service
D.04.07 Training-on-the-project
D.04.10 Consulting in Micro Systems Technologies, MEMS
D.04.12 Project planning
D.04.15 Technology consulting
D.04.16 Consultance in financial-support programmes
