University of Utah
Microsystems Laboratory
UT-84112 Salt Lake City
USA
Fax+1 801 581-5281
Das Microsystems Laboratory ist eingegliedert in die Utah Microfabrication Facility, ein ca. 400 m² großes auf Halbleiter- und Polymertechnologien ausgelegtes Reinraumlabor. Das Microsystems Laboratory beschäftigt sich mit neuartigen Werkstoffen (SOI, SiC, GaN, Metallisierungssyteme) und der Entwicklung, Fertigung und Charakterisierung von Mikrosystemen für aggressive Umgebungsbedingungen (hohe Temperaturen, aggressive gasförmige und flüssige Medien). Entwicklungen werden hauptsächlich im Auftrag von Regierungsinstitutionen und industriellen Partner durchgeführt.