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Fraunhofer-Institut
f. Siliziumtechnologie ISiT
25524 Itzehoe
Deutschland
Fax+49 4821 17-4250
Entwurf, Entwicklung und Fertigung von Bauelementen der Mikroelektronik sowie von Mikrosensoren, -aktuatoren und weiteren Komponenten der Mikrosystemtechnik; Prototypenfertigung und kundenspezifische Serien (auch Zugriff auf kommerzielle Produktionsstätten wie z. B. bei MEMS Foundry Itzehoe, X-FAB möglich); Analyse zur Qualität und Zuverlässigkeit von elektronischen Baugruppen sowie Gehäuse- und Aufbautechnik für Mikrosysteme