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Technische Universität Chemnitz
IMH - Inst. f. Mikrosystem- u. Halbleitertechnik
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09126 Chemnitz
Deutschland
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Fax+49 371 531-24439
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Funktioneller Entwurf und Untersuchung mikromechanischer Komponenten - Entwicklung und Anwendung von Entwurfswerkzeugen und -methoden - Systemanalyse auf Mikrostruktur-, Mikrosystem- und Geräteebene durch Simulation und Experiment - Mikro-Makro-Kopplung ,,Mikrosystem-Gerät" (Schnittstellenuntersuchung)