S.01.01.01 Winkel, Neigung, Orientierung
S.01.01.02 Lage (3D), Richtung, Inertiale Systeme
S.01.02.01 Kraft, Belastung
S.01.02.03 Dehnung, mechanische Spannung
S.01.02.12 Dichte
S.01.02.14 Viskosität
S.01.03.12 Winkelgeschwindigkeit, Drehgeschwindigkeit
S.01.03.13 Winkelbeschleunigung, Drehbeschleunigung
S.01.03.14 Beschleunigung, Schock
S.01.04.01 Temperatur, berührend
S.01.04.02 Temperatur, berührungslos
S.01.05.01 Feuchte, relativ (Gasfeuchte)
S.01.05.02 Feuchte, absolut (Gasfeuchte), Taupunkt
S.01.05.03 Materialfeuchte
S.01.06.10 Fluoreszenz
S.01.06.14 Spektralverteilung
S.01.06.15 Infrarot, IR Messung
S.01.07.02 Körperschall
S.01.07.05 Ultraschall
S.01.09.09 pH-Wert
S.01.09.10 Wasseranteile in Öl
S.01.09.11 Ölanteile in Wasser
S.01.10.01 Wasserstoff, H
S.01.10.02 Sauerstoff O gasförmig
S.02.10 Kapazitives Sensorelement
S.02.11 Piezoelektrisches Sensorelement
S.02.32 Ultraschall-Messzelle
S.03.02 Halbzeug für Sensoren
S.03.18 Linsen-Optik, diffraktive Optik, Fresnel Optik, Folienoptik
S.03.21 Elektrische Durchführung
S.03.27 Kommunikationsmodul, drahtlos
S.03.30 Hermetisch dichtes Gehäuse
S.03.44 Weitere Sensorik-Komponenten und Zubehör
S.03.45.01 Mikroaktor
S.03.45.02 Piezoelektrischer Aktor
S.03.45.07 Elektrostatischer Aktor
S.03.45.14 Mikropumpe
S.03.45.15 Mikroventile
S.04.20 Weitere Geräte und Anlagen zur Herstellung von Sensoren und Aktoren
M.09.05.01.01 Zug, Druck, Biegung
M.09.05.01.02 Scherung
M.09.05.01.03 Torsion
M.09.05.01.05 Experimentelle Spannungsanalyse
M.09.05.02.01 Statisch
M.09.05.02.04 Dynamisch-zyklisch
M.09.05.02.05 Dynamisch-regellos
M.09.05.04.01 Statische Härte-Messverfahren über Tiefenmessung
M.09.05.05.05 Rheologisches Prüfgerät
M.09.05.05.06 Viskosimeter
M.09.06.01.03 Röntgenprüfung
M.09.06.01.04 Rasterkraftmikroskopie
M.09.06.01.07 Automatische optische Inspektion (AOI)
M.09.06.01.08 Optische 3-D-Messtechnik, Dimensionsprüfsystem
M.09.06.01.12 Elektronenmikroskopie (REM)
M.09.06.03.04 Finite-Elemente-Berechnung, FEM
M.09.06.03.06 Finite Differenzen Methode im Zeitbereich, FDTD
M.09.06.05.01 Elektrodynamische Schwingungsprüfanlage
M.09.06.05.04 Regelsystem für Schwingungsprüfanlage
M.09.06.05.07 Weitere Schwingungsmess- und prüfsysteme, Schwingungsanalysen
M.09.06.06.04 Raman Spektrometer
M.09.06.06.05 FTIR-Spektrometer
D.01.02.01 Messtechnische Methoden und Verfahren
D.01.02.04.01 Geometrische Messgröße
D.01.02.04.02 Mechanische Messgröße
D.01.02.04.03 Dynamische Messgröße
D.01.02.04.08 Optische Messgröße
D.01.02.04.10 Akustische Messgröße
D.01.02.04.11 Elektrische oder magnetische Messgröße
D.01.02.04.12 Chemische Messgröße
D.01.02.04.14 Medizinische Messgröße
D.01.02.04.16 Gaskonzentration
D.01.02.08.02 Dünnschichttechnologie
D.01.02.08.06 Rolle zu Rolle (R2R) Strukturierung
D.01.02.08.08 Mikrostrukturierung auf bzw. von Silizium
D.01.02.08.09 Mikrosystemtechnik, MST
D.01.02.08.10 Mikrostrukturierung auf bzw. von anderen Materialien (Glas, Keramik, Metalle, Polymere)
D.01.02.08.11 Lithographieentwicklung (Elektronen-, UV-, Röntgen-Lithographie)
D.01.02.08.12 Galvanik, Entwicklung
D.01.02.08.13 Plasma-/Oberflächentechnik
D.01.02.08.17 Mikrooptik, integrierte Optik
D.01.02.08.19 Aufbau- u. Verbindungstechnik, Packaging
D.01.02.08.21 Mikrofluidik
D.01.02.08.22 Fotoresist-Prozessierung
D.01.02.08.23 Fotomaske
D.01.02.08.24 Plasmonik
D.01.02.08.25 Weitere Technologien
D.01.02.09.01 Signalverarbeitung u. Algorithmus
D.01.02.09.03 Softwareentwicklung, Sensor-spezifisch
D.01.02.09.04 Kalman-Filter für stochastische Messwerte
D.01.02.09.05 Algorithmus für Sensor Datenfusion
D.01.03.01 Prozess- und Technologiesimulation
D.01.03.02 Komponentensimulation, insbesondere mit FEM
D.01.03.03 Analogsimulation
D.01.03.05 Systemsimulation
D.01.03.06 Lebensdauer- und Zuverlässigkeitsanalyse
D.01.03.07 Optik-Simulation, Raytracing
D.01.03.09 Simulation magnetischer Felder
D.01.03.10 Simulation elektrischer Felder
D.01.03.11 Simulation Fluidik
D.01.03.12 Mikro-Optik, diffraktive Optik
D.01.03.16 Weitere Modellierung und Simulation
D.01.04.01 Aufbau- und Verbindungstechnik
D.01.04.02 Packaging
D.01.04.07 Systementwicklung drahtlose Sensornetzwerke
D.01.04.10 Medizintechnische AVT
D.01.04.12 Integration von Sensorik in Spanntechnik
D.01.04.13 Integration von Inertialsensorik für 2D/3D Positions- und Lagebestimmung
D.02.03 Dünnschicht-Technologie
D.02.11 Mikrosystemtechnik MST
D.02.12 Mikrosensorik
D.02.13 Mikroaktorik
D.02.14 Mikrofluidik, Mikropneumatik
D.02.15 Mikromechanik, Mikrostrukturierung
D.02.16 Integrierte Optik, Mikrooptik
D.02.19 Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT), Packaging
D.02.20 Nanotechnologie
D.02.28 Ätztechnologien
D.02.29 Galvanik, Auftragsfertigung
D.02.30 Bonden
D.02.41 Sensorik, spezifisch
D.02.42 Aktorik, spezifisch
D.02.43 Prototypfertigung
D.03.02.15 Schwing-, Stoß- und Klimaprüfungen
D.03.02.19 Zuverlässigkeitsprüfung, Belastungstest
D.03.02.21 Röntgen, 2D/3D
D.03.02.30 Energiedispersive Röntgenspektroskopie, EDX, EDS
D.04.01 Auftragsmessung
D.04.06 Lehre, Aus- und Weiterbildung
D.04.10 Beratung zur Mikrosystemtechnik, MST
D.04.15 Technologieberatung
D.04.22 Beratung zur Mikroelektronik
