D.01.02.04.01 Geometrische Messgröße
D.01.02.04.02 Mechanische Messgröße
D.01.02.04.12 Chemische Messgröße
D.01.02.04.13 Biologische Messgröße
D.01.02.04.14 Medizinische Messgröße
D.01.02.05.01 Positionieranwendung
D.01.02.05.03 Fluidische Anwendung
D.01.02.08.05 Kunststofftechnologie
D.01.02.08.08 Mikrostrukturierung auf bzw. von Silizium
D.01.02.08.10 Mikrostrukturierung auf bzw. von anderen Materialien (Glas, Keramik, Metalle, Polymere)
D.01.02.08.11 Lithographieentwicklung (Elektronen-, UV-, Röntgen-Lithographie)
D.01.02.08.12 Galvanik, Entwicklung
D.01.02.08.15 Abformtechnik (Spritzguss, Heißprägen)
D.01.02.08.17 Mikrooptik, integrierte Optik
D.01.02.08.21 Mikrofluidik
D.01.03.01 Prozess- und Technologiesimulation
D.01.03.02 Komponentensimulation, insbesondere mit FEM
D.04.06 Lehre, Aus- und Weiterbildung
D.04.15 Technologieberatung
